氦气怎么检漏？检漏的步骤有哪些？

为了防止半导体器件、集成电路等元器件的表面因沾污水汽等杂质而导致性能退化，就必须采用管壳来密封，但只有良好的密封才能决定仪器的正常使用，所以检漏十分重要！

氦检漏步骤：

1、抽真空至5Pa以下就可以开始检测

2、插上检漏仪电源，关闭上部手动挡板阀，开启检漏仪总电源，此时，“放气灯亮起，等待系统运行

3、当“系统正常”及旁边的两个灯都显示为绿色时，观察预置参数，应为10－15一般取15，观察数值，应为10的－8至－9次方时，可以开始检漏（等待几分钟）

4、按“检漏”键，绥慢开启顶部手动挡板阀，注意：检漏口的压强不得超过10MPa，否则机器易损坏

5、数值稳定后，先记录下来，这就是“本底”

6、逐个将氦气充入焊鏠，并封堵插入口，将数值变动记录下来。全部完成充氨后再观察20分钟，看数值有无大的变动。

7、关机时，应先关闭上部手动挡板阀，然后开启放气键，最后关电源。