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氦气怎么检漏?检漏的步骤有哪些?

来源:/news/82.html 发布时间:2018-09-30

为了防止半导体器件、集成电路等元器件的表面因沾污水汽等杂质而导致性能退化,就必须采用管壳来密封,但只有良好的密封才能决定仪器的正常使用,所以检漏十分重要!

氦检漏步骤:

1、抽真空至5Pa以下就可以开始检测

2、插上检漏仪电源,关闭上部手动挡板阀,开启检漏仪总电源,此时,“放气灯亮起,等待系统运行

3、当“系统正常”及旁边的两个灯都显示为绿色时,观察预置参数,应为1015一般取15,观察数值,应为10的-8至-9次方时,可以开始检漏(等待几分钟)


4、按“检漏”键,绥慢开启顶部手动挡板阀,注意:检漏口的压强不得超过10MPa,否则机器易损坏

5、数值稳定后,先记录下来,这就是“本底”

6、逐个将氦气充入焊鏠,并封堵插入口,将数值变动记录下来。全部完成充氨后再观察20分钟,看数值有无大的变动。

7、关机时,应先关闭上部手动挡板阀,然后开启放气键,最后关电源。

相关标签:工业气体;氦气,
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